GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-14 08:08:32 浏览:9752
来源:标准资料网
基本信息
| 标准名称： | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
| 英文名称： | Test method for thickness of lightly doped silicon epitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance |
| 中标分类： |
冶金 >>
金属理化性能试验方法 >>
金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： |
|
| 替代情况： | 被GB/T 14847-2010代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1993-01-02 |
| 实施日期： | 1994-09-01 |
| 首发日期： | 1993-12-30 |
| 作废日期： | 2011-10-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 机电部四十六所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：12千字 |
适用范围
本标准规定了重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法。本标准适用于衬底室温电阻率小于0.02Ω·cm和外延层室温电阻率大于0.1Ω·cm且外延层厚度大于2μm的硅外延层厚度的测量。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法
【英文标准名称】:Micrometercallipersforexternalmeasurement
【原文标准名称】:外径千分尺
【标准号】:ISO3611-1978
【标准状态】:作废
【国别】:国际
【发布日期】:1978-02
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际标准化组织(IX-ISO)
【起草单位】:ISO/TC3
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:作标记;测量仪器;外径;设备规范;直径测量;千分尺;平行;指南;误差;产品规范;平整度;外部;质量管理
【英文主题词】:Diametermeasurement;Errors;External;Flatness(surface);Instructions;Marking;Measuringinstruments;Micrometers;Outsidediameters;Parallel;Productspecification;Qualitycontrol
【摘要】:Specifiesthemostimportentdimensional,functionalandqualitycharacteristicsformeasurements.Table1coversparametersforthemeasuringrangesfrom0mmuptoandincluding500mmwhicharedevidedinstepsof25mmeach.AnnexAreferstomeasurementerrorswithinthemeasuringrange;annexBcontainsinstructionforapplication;annexCincludesrecommendationsfortesting.
【中国标准分类号】:J42
【国际标准分类号】:17_040_30
【页数】:6P;A4
【正文语种】:英语
【英文标准名称】:Invitrodiagnosticmedicaldevices-Informationsuppliedbythemanufacturer(labelling)-Part3:invitrodiagnosticinstrumentsforprofessionaluse.
【原文标准名称】:体外诊断医疗器械.制造商提供的信息(标签).第3部分:专业用体外诊断仪器
【标准号】:NFS92-010-3-2010
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2010-03-01
【实施或试行日期】:2010-03-17
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:分析装置;应用;制造日期;诊断;诊断设备;诊断系统;企业;专家;在体外;信息;使用说明书;仪器;调查;实验室条件下诊断;加标签;实验室医学;医疗设备;医学科学;医疗技术学;操作说明书;人员;规范(验收);用户信息
【英文主题词】:Apparatusforanalysis;Applications;Dataofthemanufacturer;Diagnosis;Diagnosticequipment;Diagnosticsystems;Enterprises;Experts;Invitro;Information;Instructionsforuse;Instruments;Investigations;In-vitrodiagnostic;Labelling;Laboratorymedicine;Medicalequipment;Medicalsciences;Medicaltechnology;Operationalinstructions;Personnel;Specification(approval);Userinformation
【摘要】:
【中国标准分类号】:C30
【国际标准分类号】:11_100_10
【页数】:19P;A4
【正文语种】:其他
